在線方塊電阻測試儀

EddyCus TF inline在線 方塊電阻測試儀可以測量薄層的性能，如金屬層厚度，薄層電阻，輻射系數(shù)，殘余水分或在各種基材上的非接觸克重。相關(guān)基材有玻璃、箔、紙、晶圓片、塑料或陶瓷。通過常駐測量或觸發(fā)事件進(jìn)行監(jiān)測，以在快速移動(dòng)的涂層過程中獲得等距離的結(jié)果。檢測解決方案可以在大氣或真空條件下實(shí)施。基于電渦流技術(shù)的檢測過程高采樣率更高。可以使用客戶的軟件為過程控制系統(tǒng)提供測量結(jié)果。此外，SURAGUS還提供監(jiān)控軟件EddyCus EC Control，可視化、存儲和分析計(jì)量數(shù)據(jù)。

在線 方塊電阻測試儀產(chǎn)品優(yōu)勢：

• 非接觸式實(shí)時(shí)測量

• 高測量速度高達(dá)1000次/秒。

• 傳感器固定安裝或傳感器橫貫安裝

• 每個(gè)系統(tǒng)集成1 - 99個(gè)監(jiān)控通道

• 在大氣或真空的過程控制

• 在許多應(yīng)用中，非常接近襯底邊緣的測量是可能的

• 在變化的環(huán)境中通過溫度補(bǔ)償測量的長期穩(wěn)定性

• 與測試材料之間的距離較大(例如60毫米/ 2.4英寸的間隙)

• 覆蓋導(dǎo)電層或封裝襯底的表征

• 眾多軟件集成分析

在線 方塊電阻測試儀測量內(nèi)容及范圍：

薄層電阻: 0.1 mOhm/sq up to 1 kOhm/sq

金屬厚度: 2 nm – 2 mm (根據(jù)材料電導(dǎo)率)

電阻率: 0.1 mOhm cm – 1 ohm cm

殘余水分(用非接觸式介電常數(shù)測量濕層)

電各異性: 0.33 to 3 (higher on request)

關(guān)聯(lián)屬性

克重: 0.1 to 1,000 g/sqm

輻射系數(shù): 0.005 to 0.2

EddyCus TF非接觸式方塊電阻在線監(jiān)測系統(tǒng)可在生產(chǎn)過程中直接對方塊電阻進(jìn)行高速、非接觸式測量。典型的工藝包括PVD, CVD，在晶圓，箔，紙，聚合物或其他基板上的電沉積或常規(guī)沉積工藝。特別是這些工藝包括濺射、蒸發(fā)、外延或電鍍工藝。此外，這也涉及噴涂，槽模涂層或電子印刷過程。此外，片狀電阻增強(qiáng)過程，如薄膜的退火和摻雜或印刷電子產(chǎn)品的燒結(jié)，受益于電氣完整性的在線監(jiān)測。氧化、蝕刻、拋光以及清洗和干燥過程的影響也是這種測試技術(shù)廣泛應(yīng)用范圍的一部分。薄片電阻值通常轉(zhuǎn)移到MES系統(tǒng)，以保證質(zhì)量，特別是過程控制。

在線方塊電阻測試儀規(guī)格指標(biāo)：

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